Love波器件的建模仿真及阻抗匹配系统研究

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Love波是一种能量主要集中在波导层中的剪切横波,不易与表面介质耦合,且Love波器件具有灵敏度高、精度高、微型化等优点,被广泛应用于传感器、生物芯片等众多领域。然而,Love声波具有不易观察和测量的特点,目前建模中常采用二维有限元模型或者不设置叉指换能器,无法直观地表征Love波传播特性。同时,在对Love波器件测量过程中,存在Love波器件阻抗与传输线特征阻抗不匹配的问题,并且尚未有一个成熟的匹配装置及匹配方法。本文正是针对以上问题,对Love波器件的建模仿真及阻抗匹配方面进行了系统的实验研究。为了准确表征Love波器件的质点位移和色散关系,提出了一种Love波器件三维建模方案,该方案用有限数量单元去逼近实际Love波器件的真实物理结构和IDT、波导层等实际载荷工况。通过一个压电基片材料为128°YX-Li Nb O3,金属叉指换能器为Al电极,波导层材料为Zn O薄膜的Love波器件三维模型实验,验证了该Love波器件建模方案的可行性。实验结果表明,在49MHz到51MHz的频率范围内,Love波模态声波的频率为49.072MHz、49.295MHz、49.607MHz和50.062MHz。在这四个频率处Love波仅存在X方向质点位移的变化,Y方向和Z方向的质点位移都为0。器件的色散关系为随着角频率增大,Love波的速度逐渐减小。为了解决Love波器件特性阻抗与传输线特征阻抗不匹配的问题,设计研究史密斯阻抗圆图来对阻抗匹配系统进行分析,通过分析史密斯阻抗匹配法,总结出匹配网络结构,为之后设计制作的Love波器件阻抗匹配电路提供了理论依据。同时,提出了一种负载阻抗匹配装置及负载阻抗匹配方法。通过该装置中开关状态的调节,分别构成与待测Love波器件对应的未匹配通道及匹配通道,并且针对两个端口分别设计不同的无源负载阻抗匹配网络,从而使待测Love波器件一步完成负载阻抗匹配。通过对制作的Love波器件阻抗匹配电路进行测试,端口一和端口二不仅能同时达到阻抗匹配中心点,而且在中心频率点处,匹配前与匹配后端口一的反射损耗由-4.3710d B变为-28.010d B,端口二的反射损耗由-9.1856d B变为-38.133d B,说明两端口匹配性能都有所改善。
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