太阳能是一种清洁新型能源，太阳电池可以将太阳能转换为电能。CuInSe2(简称CIS)是一种直接带隙半导体材料，吸收系数高、带隙可调、转换效率高、性能稳定，并且具有优良的抗干扰、耐辐射能力而受到各国光伏界的关注，成为最有发展前途的太阳能电池之一。制备大面积、高质量的太阳能电池关键组成部分CIS吸收层是实现CIS太阳能电池的工业化生产的关键。制备CuInISe2薄膜的方法有很多，电沉积方法制备的CIS薄膜可实现大面积制备，价格低，制备效率高，制备系统稳定性好等特点，因而得到了广泛研究，具有相当广泛的应用发展前景。　　 本文以氯化铜、三氯化铟、亚硒酸为原料，以无水乙醇为溶剂，在钼片衬底上采用超声辅助电沉积技术制备CuInSe2(CIS)薄膜前驱体。制得的薄膜用氮气吹干，并对前驱体薄膜在硒气氛保护下进行适当的热处理以改善其结晶性能。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、扫描电镜自带能谱仪(EDS)和光电性能测试对制备的薄膜的各种性能进行表征。　　 具体分析了不同沉积溶液、电解液组成、沉积电位、超声功率和频率以及热处理工艺等因素对薄膜成分及形貌的影响，并比较了超声电沉积和无超声电沉积对薄膜性能的影响。结果表明，在二甲基亚砜、乙醇、以及他们的混合溶液中电沉积制备CIS薄膜是可行的。以乙醇为溶液，薄膜中各种元素的原子百分含量随电镀液中对应物质浓度的增加而增加。电位的负移和电流密度的增大都有利于In的沉积。随超声功率和频率的增加In的含量都减少。对前驱体薄膜进行热处理分析随着热处理温度的提高和保温时间的延长，以及升温速率的减慢都会是薄膜结晶更好，但升温速率过快温度过高时间过长都会导致制备的CIS薄膜表面不光滑、颗粒不均匀致密。而且薄膜有一定的光电性能。超声环境能够在更低的浓度下沉积出表面均匀、晶粒细小，结构致密的CIS薄膜。