全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究

来源 :中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) | 被引量 : 17次 | 上传用户：HGameG

【摘要】

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【作者】

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宋莹

【出处】

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中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)

【发表日期】

：

2014年01期

【关键词】

：

全息光栅曝光扫描干涉场曝光干涉条纹移频式静态相位锁定动态相位锁定 AOM

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