原子力显微镜（AFM）因其加工检测一体化、高精度和高分辨率等特性，现在被广泛的作为一种新的加工方式研究。AFM加工根据其加工方式可分为接触模式加工和敲击模式加工，相比于接触模式，敲击模式具有加工结果受加工方向影响小，适用于多种聚合物表面加工的优点。本文主要研究敲击模式下AFM单晶硅探针在聚碳酸酯（PC）和聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）表面的加工。主要开展如下工作：首先，建立线性阻尼振动模型，利用Matlab仿真探针与样品表面之间的作用关系，得到激励电压、针尖半径、激励频率、探针悬臂的弹性系数以及样品弹性模量对针尖压入深度、探针与样品间最大作用力和最大压应力的影响，得到使聚合物表面形成塑性变形的条件，找到可方便控制加工深度的参数，为具体的加工实验提供指导。其次，AFM敲击模式下在PC表面加工矩形区域时会形成规则凸起，而凸起原因不清楚。在实验中发现，AFM敲击模式下加工一条线段时，形成凸起体积大于凹坑体积，所以猜测加工矩形区域形成凸起的原因是多条线段叠加造成的，为了验证此猜测，用仿真与实验相结合的方式，分析不同步进条件下所形成凸起结构，得到凸起结构形成原因。最后，利用AFM自身系统，根据加工以及实验需要，编制所需特定轨迹程序。在此基础上，研究加工速度、激励电压和步进对加工聚合物结果的影响，并分析其原因。发现不同的激励电压导致针尖在聚合物表面不同的切削形式，激励电压较小时，材料堆积在凹槽两侧，激励电压较大时，针尖在聚合物表面形成切削，切屑堆积在加工轨迹末端。并最终在多种聚合物上加工出具有纳米尺寸的规则图形。