基于光声光谱原理的油中气体监测系统设计

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光声光谱检测技术因其灵敏度高、指向性好、响应速度快等特点成为一种理想的多组分气体检测研究方向。然而其谐振工作形式存在谐振条件要求苛刻,难以批量化生产,难以适应工业现场使用环境等问题;另一方面,其非谐振工作形式存在原始信号频率过低,幅值微弱,需求检测范围过大等问题,严重影响了光声光谱检测技术在工程实际中的应用。本研究工作主要针对非谐振状态,开展以下工作。基于非谐振式光声光谱检测技术研制了一套变压器油中气体监测系统,采用电调制的红外光源,分别透过六片高透射率窄带滤光片滤出对应气体特征吸收波长,进入处于非
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MEMS器件由于尺寸小、质量轻、功耗低等优点得到世界范围内广泛的研究,但因不同种类的MEMS器件在封装需求以及工艺兼容性方面经常各有其特殊性,这对MEMS器件的封装提出了更高规格的要求,这对MEMS器件走向实际应用造成了一定程度上的阻碍。本文对课题组在研的三明治式高精度、大量程MEMS加速度计的实际封装进行了需求分析,为了确保MEMS加速度计在电容-位移信号检测方面的可靠性和灵敏度,实现封装腔体内
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