亚纳米位移发生器若干技术研究

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该文结合课题"亚纳米位移发生器若干技术研究"的研究,对国内外微位移技术的发展方向及应用状况方面的资料进行了较系统的归纳和分析.在此基础上,该次课题设计了一种杠杆式柔性铰链压电陶瓷驱动的微位移发生器,可以解决压电驱动器目前存在的主要问题.该文首先阐述了"亚纳米位移发生器若干技术研究"的整体设计方案,对柔性铰链和压电陶瓷的工作机理及特性进行了较详细的分析,并针对其特性设计了压电陶瓷驱动电源,有效的改善了压电陶瓷驱动器的迟滞、蠕变和非线性等不良特性.其次,结合该次课题的特点,采用了并口向下位机发送数据信号和控制信号,直接实现了计算机对压电陶瓷驱动电源的控制,免去了再次采用单片机控制的复杂性.该次设计采用了VC++语言编写了对压电陶瓷电源输出电压控制的软件.最后,对压电陶瓷驱动微位移发生器的各项指标进行实验测试,并对实验数据进行了分析.
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