表面等离子体极化波导的电场分布具有很高的约束性。同时,由于其波导衰减的非常快(以指数衰减),因而其传播距离受到很大的限制,它的这一特性为亚波长下的光学元器件突破衍射极限的问题提供了解决的方法,为纳米集成光学元器件的制作提供了可行性。本文首先针对表面等离子体极化波导的激发方式进行了探讨与描述,提出采用有限元法来对其进行相关的研究分析。然后介绍了表面等离子波导的导波结构以及衡量波导性能的相关参数,最终引出了本文重点研究的内容,介质加载表面等离子波导。在传统的矩形介质加载表面等离子体波导的基础之上,本文对其提出了两种改良方案,一是提出一种新的介质脊结构一—梯形,二是对于其本身的矩形介质脊进行优化,将其改进为双矩形介质脊结构。本文采用基于有限元法设计的COMSOL仿真软件,得到这两种改良结构的表面等离子波导的电场分布图,将它们分别与传统的矩形介质脊结构进行分析对比。此外,通过对于本文中所介绍的传播常数、传播长度、模式宽度、品质因数等参数的具体对照分析,得出梯形结构波导的传播长度、模式宽度、品质因数分别比矩形结构最多提高了60%、27%、40%,而双矩形结构对应的这几个参数比矩形结构分别最多有着50%、7%、25%的提升。这几个参数都是衡量一个波导传输性能好坏的重要依据,这也表明本文所做出的两种改良介质加载表面等离子结构对于波导的传输性能有着很大的提升。同时,本文还对于双矩形结构的间距对波导性能所造成的影响进行了研究分析,最终得出间距为100nm左右的时候其性能最优。