随着科技的进步，电子产业正在向高频化，宽工作频带，高传输速度方向发展，该趋势促进了高频微波材料的发展，这就对微波介质材料提出了更高的要求，从而更为准确地知道被测介质材料的微波复介电常数就显得尤为重要。如何满足在新形势下生产者与使用者对材料复介电常数测量精度以及范围的要求是微波测试技术面临的新课题。微波测量技术在近几年得到了快速的发展，利用微波测量技术可对材料复介电常数进行测量，可将这种技术进行延伸扩展，得到一种谐振腔微扰理论，本课题就是基于这种微扰理论利用有限元仿真软件进行材料复介电常数的测量工作。　　通过对谐振腔微扰法的理论分析，利用有限元数值方法对材料微波频段的复介电常数进行求解。其主要是利用电磁仿真软件自行设计矩形谐振腔，进行仿真分析处理。分析谐振腔在加载样品前后其腔内的电磁场分布，观察由样品所引起的谐振腔内电磁场变化的趋势。分析谐振腔与样品的网格单元尺寸对结果的影响，求出最优解的网格单元尺寸作为其标准用来实现微波频段的多频点测量，即对不同频点的工作频率，可建立不同尺寸的谐振腔与样品，再利用所优化的网格单元对所建模型进行网格划分，以实现在对多频点上测量的准确性。实现此种方法对材料复介电常数的测量后，可进行复合材料电磁参数的预测。　　本文通过对2-2叠层型两相复合材料的复介电常数的仿真预测，以实现谐振腔微扰法对预测复合材料的电磁参数的可行性。结果表明：在多频点测量准确度较高，并对预测复合材料的复介电常数具有一定的指导性。