FED平板显示器件封接及除气工艺的研究

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本文首先对FED平板显示器的结构、工作原理、制造工艺过程进行论述,重点论述了对FED平板显示器件的低熔点玻璃封接及除气工艺的研究。由于封接及除气工艺在FED制造过程中属于后道工艺,它的成败直接影响到FED显示屏成品率高低,因而对整个FED显示屏的制造具有举足轻重的意义。在本文中,介绍了封接的整个工艺流程,并得到了最佳封接温度曲线。文章还对封接出现的应力问题、气密性问题、电极及阴极氧化等问题进行分析,并提出一套可行的解决方案。特别介绍了解决电极氧化问题所采取的方法。同时,在除气工艺中,重点介绍了消气剂在显示屏内的放置方案,高频感应加热线圈的改造方案及烤消工艺技术。在FED封接及除气工艺中,由于可借鉴的经验及可利用的现有实验仪器比较少,因而文章还介绍了作者自行设计的一些简单的实验仪器及一些分析测试系统。
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