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微加速度计是测量线加速度的传感器,也是惯性导航单元的重要组成部分。因其体积小、质量轻、成本低、便于批量化生产等优点被广泛研究并应用在军事及民用领域。本单位首次提出了蝶翼式扭摆微加速度计结构,并完成了第一版加速度计原理样机的设计、加工与测试,得到了良好的实验结果,但仍存在结构不对称、加工复杂、温度特性差等问题。本文在前期的研究基础上从结构设计、加工工艺、信号检测、温度补偿等方面进行了一系列优化,测试结果表明优化后的性能较优化前有明显提升。本文内容包括下几个方面:1.敏感结构优化。本文针对前期版本加速度