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基于非傅里叶热传导模型的微梁谐振器热弹性阻尼分析
【摘 要】
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在现代集成电路技术高速发展与广泛应用的背景下,对高性能的微(纳)机电系统的技术研究受到了广泛的关注。微(纳)电机系统内部的主要工作器件为谐振器,研究发现热弹性阻尼是谐振器的能量损耗的主要形式之一。目前,对于均匀单一材料的梁、板、环等常见谐振器基本结构单元的热弹性阻尼已经有了一定的研究基础。由于功能梯度材料器件具有在某一方向上组分连续变化的特点,能够实现对使用材料的差异化性能要求,可以通过材料组分分
【出 处】
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扬州大学
【发表日期】
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2021年08期
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