CdZnTe单晶表面、界面及位错的研究

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CdZnTe晶体是迄今制造室温X射线及γ射线探测器以及HgCdTe等红外薄膜外延衬底最为理想的半导体材料。尽管对CdZnTe的研究由来已久,但在CdZnTe晶体的表面处理、金属与CdZnTe晶体接触及晶体缺陷行为研究上尚存在诸多难题。本文主要研究了CdZnTe晶体表面处理工艺,如机械抛光,化学抛光,钝化,及这些工艺对表面质量的影响。深入分析了CdZnTe晶体表面的基本物理性质,如表面的原子结构、电子结构和功函数。进而,采用MBE在CdZnTe衬底上沉积Au和Ag,研究了Au和Ag与CdZnTe之间的界面反应和肖特基接触势垒。此外,采用化学镀金法制备了Au的欧姆电极,研究了欧姆电极的界面结构以及欧姆接触形成的机理。最后,研究了CdZnTe中位错的一些基本性质。采用机械抛光获得的光亮CdZnTe晶体表面存在一定的损伤层,通过X射线摇摆曲线并结合化学腐蚀,测算出该损伤层的厚度约为13μm。采用Br-MeOH溶液腐蚀可以有效地去除损伤层,但Br-MeOH腐蚀后的晶片表面通常会形成的无定形的富Te层,进一步的化学机械抛光可以去除该富Te层。CdZnTe晶体表面损伤层,会造成较大的表面漏电流和一定的红外吸收。表面富Te层是一个高导电区,它会造成较大的表面漏电流,但基本不影响红外透过率。表面钝化处理可以有效地减少表面漏电流,但是钝化层(氧化层)会吸收红外光,导致红外透过率的下降。与常用的钝化液NH4F+H2O2相比,采用Br2水溶液进行钝化处理可以获得钝化效果更好的TeO2钝化层,而不是通常得到的CdTeO3层。在超高真空条件下采用Ar离子刻蚀并进行原位退火,获得了清洁有序的CdZnTe单晶表面。采用低能电子衍射(LEED)测量了不同表面的原子结构。在(110)面观察到(110)-(1×1)的原子结构,并通过光电子能谱验证了表面弛豫的存在。在(111)A和(111)B面上分别观察到(111)A-(1×1)和(111)B-(1×1)的完整表面原子结构以及(111)A-(31/2×31/2)R30°和(111)B-(2×2)的表面重构。(111)A面的重构是由Cd空位引起的,而(111)B面的重构是Te的顶戴原子形成的。通过同步辐射角分辨光电子能谱(SRARPES)计算出CdZnTe(110)面的悬挂键密度约为6.9×1014/cm2,即每一个表面原子含一个悬挂键。发生重构的(111)A-(31/2×31/2)R30°表面Cd空位增加,Cd空位引入了施主型的表面态,致使能带向下弯曲。发生重构的(111)B-(2×2)表面Te顶戴原子起着受主的作用,导致价带顶向上弯曲。采用光电子能谱技术测量CdZnTe不同表面的功函数,结果表明(111)A面的功函数大于(111)B面;吸附气体和Au会增加CdZnTe晶片的功函数;排列整齐有序的表面的功函数要低于存在损伤的表面;(111)A面发生重构后,Cd空位增加,能带向下弯曲,增加了功函数;而(111)B面发生重构时,Te顶戴原子吸附在晶体表面,形成表面偶极层,也会增大表面功函数。研究了Au与清洁CdZnTe不同晶面的接触势垒,其中(110)面的接触势垒最大,(111)B面次之,(111)A最小。这是由于(110)面的表面能最低,是一稳定面,难以发生界面反应。(111)A面的Te原子不稳定,容易与Au发生化学反应。通过紫外光电子能谱也证实了Au/CdZnTe(111)A的界面确实发生了界面反应。Ag与清洁CdZnTe存在比较明显的界面反应,导致接触势垒很低,约为0.2eV。而Ag与经化学腐蚀的CdZnTe晶片的接触势垒约为0.67eV,这是由于氧化层和富Te层阻挡了Ag与CdZnTe的反应,从而导致了较高的接触势垒。CdZnTe(111)A面发生重构后表面Cd空位增加,在沉积Au的过程中,Au会填补这些空位,作为Cd的替换原子与周围的三个Te原子结合。这样将有利于Au的扩散和界面反应的发生,因而会降低接触势垒。另外表面Cd空位引入的缺陷能级也会降低肖特基接触势垒。Au/CdZnTe(111)B-(2×2)的肖特基势垒低于Au/CdZnTe(111)B-(1×1)面。分析认为这是由于CdZnTe(111)B-(2×2)最外两层原子均是Te原子,Te与Au之间容易发生电子云重叠,形成化学键,即形成合金化的界面层,使富Te面容易形成低的肖特基势垒。对Au/CdZnTe在350℃下退火1小时,可以改善Au膜的有序性,并降低接触势垒约0.15eV。采用AuCl3水溶液在CdZnTe表面分解制备了Au的欧姆电极,并采用XPS研究了化学镀金法制备的Au/CdZnTe的界面成分分布,确定了CdTeO3界面层的存在。分析了Au层与CdZnTe形成欧姆接触的机理,提出了CdTeO3界面层导致欧姆接触的新模型,该模型可以解释目前所有的实验结果。通过塑性变形在CdZnTe晶体分别引入了Cd(g)位错和Te(g)位错。由于位错内的悬键电子会吸收红外光,导致晶片红外透过率下降。变形后的晶片的漏电流显著增大,运用普尔-弗兰克效应解释了实验结果。采用I-V、PL谱和Hall等测量方法研究了位错的电学特性,结果表明,Cd(g)位错在CdZnTe晶体中起受主作用,而Te(g)位错在晶体中起施主作用。Cd(g)位错会会加大对空穴的散射,而导致空穴的迁移率下降,而Te(g)位错会加速空穴的漂移,使空穴的迁移率增加。
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