【摘 要】
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本文主要利用电子束蒸发原位热处理技术来研究MgB超导薄膜的制备工艺和相关的超导特性,主要包括:衬底的预处理、多层成膜技术、组分设计、后道热处理等.实验结果表明,按Mg:B=
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本文主要利用电子束蒸发原位热处理技术来研究MgB<,2>超导薄膜的制备工艺和相关的超导特性,主要包括:衬底的预处理、多层成膜技术、组分设计、后道热处理等.实验结果表明,按Mg:B=1:2的原子比例分层蒸镀多层[Mg/B]<,N>先驱膜,然后进行原位热处理可获得MgB<,2>超导薄膜.薄膜的超导性能随着制备工艺的优化得到了很好的提高,零电阻温度分别为16.5K、24.5K、30.5K.正常态电阻率-温度关系ρ(T)呈现金属行为,拟合结果满足ρ(T)=ρ<,0>+aT方程.采用多相物质衍射强度公式对薄膜的相含量进行了计算,从理论上进一步证实了氧污染以及镁的不足是导致MgB<,2>晶化不彻底而致使转变温度进一步降低的结论.
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