微机电(Micro Electromechanical Systems,MEMS)惯性器件(加速度计和陀螺仪)因体积小、成本低、精度低等特点,在测绘领域、航空航天领域、民营领域等得到广泛应用,用户对载体精度要求越来越高等需求逐渐出现,因此,在现有MEMS惯性器件精度基础上开展误差标定补偿方法研究在惯性导航系统应用中具有实际价值。此外,应用环境温度的变化对MEMS惯性器件测量也会产生较大影响,如何削弱温度误差带来的影响成为必须要解决的关键技术问题。针对惯性器件标定补偿问题,首先基于惯性器件结构、原理、性能指标等理论,提出Allan方差分析、频谱分析等方法评价惯性器件性能。其次,围绕惯性器件性能评价、温度特性分析,建立加速度计位置、陀螺仪速率、惯性器件温度误差标定与补偿模型。通过加速度计位置实验、陀螺仪速率实验、惯性器件静态大温度区间实验分析惯性器材输出信息误差特性,验证标定补偿模型建立的可行性。论文所提误差标校与补偿方法的计算过程简洁且易于操作、数据采集实时性强,能够满足用户对载体小型化、高精度、实时性、可靠性的发展需求,可应用于多种传感器固定误差处理、组合导航等,在工程上具有一定的应用价值。