随着制造领域中微型化趋势的不断发展，微型零件的需求量越来越大。微成形技术作为一种新兴的金属加工技术，具有材料利用率高、成形件性能稳定、适合于批量化生产等优点，虽然当前微成形本身还处于研究阶段，距离大规模的工业化应用还有一定差距，但可以预见微成形技术在未来所拥有的广阔前景。本课题的研究是在国家自然科学基金重点项目[编号：50835002]对微成形技术的资助下开展的。本文选用工业上应用广泛的半固态ZL101铝合金作为试验材料，通过对特定微型型槽的填充试验，分析半固态材料在微尺度下的流动性，研究不同工艺参数对微尺度充型能力的影响规律。针对半固态成形特点，设计并制造了用于微尺度下充型能力评价的锥形槽模具，采用耐高温陶瓷线圈加热，AT908型人工智能温度控制器精确控温，在CMT-4000万能材料试验机上进行试验。结果表明：(1)槽宽尺寸、固相率（成形温度）、成形力均是影响半固态材料微尺度充型能力的重要因素；(2)在半固态温度区间内，随着固相率的降低（温度上升），半固态材料的微成形性能对尺寸的敏感度逐渐降低。(3)型槽尺寸越小，半固态成形相比固态成形微特征的优势就愈加明显。通过对半固态微成形件和剩余坯料的微观组织进行分析，本文还研究了半固态材料从重熔到充填微尺度型槽过程中的组织演变及成形规律，探讨了部分因素对微成形件微观组织的影响，分析了显微硬度。分析表明：(1)充型过程中，组织主要经过了共晶组织熔化、α相颗粒球化和固相颗粒长大三个阶段，变形呈现典型的非稳态流动特征；(2)微特征最前端基本保留了重熔后的微观组织，与特征内部其他位置有明显差异；(3)微特征内部显微硬度值波动小，组织性能均匀。