现代化的半导体制程设备对电力品质问题非常敏感,当电力系统遭受到电力品质问题时会导致生产停止、芯片报废、产能损失等。在影响制程设备的电力品质的诸多因素中,由电压骤降引起的用户设备停机及导致生产损失占整个电力品质问题的90%以上,所以电压骤降已上升为影响半导体制造厂最为重要的电力品质问题。目前半导体行业大量使用不间断电源作为抗电压骤降的武器,但它的工作效率比较低并且维护和运行成本非常高,其使用储能器件电池平均每个季度都要要进行一次性能测试,每隔3~4年要更换一次蓄电池,处理废电池带来很多环保问题。对于研究更有效、节能、环保的电压骤降治理方案势在必行。结合公司目前实际情况电压骤降治理需要满足治理效果好、运行效率高、维护费用少、符合环保要求等要求,主要研究成果及结论如下：1.研究电压骤降的定义、产生原因、特征量的理论计算及电压骤降的检测方法,分析电压骤降对半导体制程的影响。2.分析公司目前配电系统电压骤降治理方案存在的缺陷并提出新的骤降治理的方向。统计分析了SM半导体公司电压骤降事件及其对生产的巨大影响,根据电压骤降的分布概率及严重程度来进行重点骤降治理。3.对动态电压补偿器进行分析与比较,结合公司电力配电系统状况对几种不同类型的动态电压补偿器进行分析与选取。深入研究动态电压补偿器的功能与原理,对设备电源回路及内部储能电路进行改造使之与原有电力系统完美的匹配,达到电压骤降治理的全覆盖。4.完成电压骤降治理效果验证,通过模拟电压骤降及真实骤降事件的考验,验证本文所设计的治理方案完全满足要求。