【摘 要】
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MEMS微陀螺仪是采用微机电系统加工技术和测控技术研制的一类用来测量角速度和角位移的惯性器件,以体积小、功耗低、可靠稳定等优点被广泛应用于军用和民用等众多领域。传统的单自由度微机械陀螺是通过让驱动和检测模态的固有频率相互匹配来提高其机械灵敏度,然而却导致了带宽和鲁棒性的大幅降低。为了解决单自由度微陀螺固有的设计缺陷,通过增加驱动和检测模态自由度数的方法被相继提出。另一方面,微陀螺这种高精度的动态传
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MEMS微陀螺仪是采用微机电系统加工技术和测控技术研制的一类用来测量角速度和角位移的惯性器件,以体积小、功耗低、可靠稳定等优点被广泛应用于军用和民用等众多领域。传统的单自由度微机械陀螺是通过让驱动和检测模态的固有频率相互匹配来提高其机械灵敏度,然而却导致了带宽和鲁棒性的大幅降低。为了解决单自由度微陀螺固有的设计缺陷,通过增加驱动和检测模态自由度数的方法被相继提出。另一方面,微陀螺这种高精度的动态传感器中结构的几何非线性度较高,工作中会呈现出非线性动态特性。因此开展刚度非线性下多自由度微陀螺的动力学行
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