检测危险气体的石英晶振微天平气体传感器的研究

来源 :天津理工大学 | 被引量 : 2次 | 上传用户:ellen0807523254
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为了弥补传统气体传感器气体检测精度不高这一不足,本文使用石英晶振微天平(Quartz Crystal Microbalance, QCM)气体传感器对危险气体进行检测。实验过程中,通过对镀膜工艺的改进,自主研制了旋转镀膜机,使用旋转镀膜机进行对石英晶振片的镀膜,其成膜即快又均匀;在进气装置中,采用静态塑料袋进气法,尽可能的排除了环境当中的干扰因素;使用了实验组自主编制的基于LabVIEW平台的QCM气体传感器频率测试程序对测试结果进行记录。本论文在一定温度条件下进行试验,利用QCM气体传感器,主要测试了七种敏感膜对二甲苯气体和正己烷气体的响应特性。主要对二甲苯气体及正己烷气体响应特性进行研究,主要测试其响应性,稳定性,重复性,以及不同浓度气体频率响应的线性关系。通过对实验数据的分析,得出以下结论:二氧化钛敏感膜对二甲苯气体及正己烷气体的响应性和重复性最好,其稳定性较高;二氧化钛敏感膜对气体的选择性最好;二氧化钛敏感膜与不同浓度的正己烷气体的响应频率具有良好的线性关系。
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