半导体超晶格的X射线双晶衍射研究

来源 :长春理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jingkaiqq
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
X射线双晶衍射模拟技术及运动学理论模拟双晶衍射摇摆曲线是研究研究半导体多层膜和超晶格的结构及完美性的有效手段。本文从X射线运动学的普遍理论——布拉格方程出发,推导出适用于多层膜及超晶格结构的X射线衍射摇摆曲线理论模拟的迭代解。对几种不同的多层膜、超晶格结构的结构参数和结构完美性进行了详细的研究分析。 1.计算了AlGaAs/GaAs材料的超品格以及量子阱结构参数,并研究了低级卫星峰的规律性消光规律。采用具有整数分子层的过渡层理论模型,研究了超晶格中零级峰的峰位漂移,过渡层对超晶格卫星峰强度的影响。 2.对InGaAs/GaAs外延多层膜结构的弛豫机制以及结构参数进行研究。对15周期的In0.1Ga0.9As/GaAs超品格的实验分析表明,应变弛豫机制起主要作用。模拟计算出该样品的周期为200A,In的组分为0.08,GaAs层与InGaAs层的厚度分别为110A和90A。 3.设计生长了不同结构的GaSb/GaAs样品,优化了生长条件和参数。在GaSb/GaAs应变层超品格的X射线衍射曲线中观察到了7级卫星峰,考虑了生长过程中生长温度,组分变化对外延层的影响,并对过渡层厚度和生长速率的变化对X射线双晶衍射曲线的影响作了详细的分析,获得了对实验曲线的最佳拟合。对GaSb/GaAs应变层超晶格不完美性地影响因素进行了初步分析和讨论。
其他文献
近年来,视频信号处理技术的发展十分迅速,这对其中的一项关键技术----“模数转换器”提出了越来越高的要求。模数转换器是一种通用的模数接口电路,它广泛应用于模数混合电路
针对成品油经过上、下坡时同种汽油与不同密度的柴油顺序输送时的混油问题,借助多相流模型,建立三维流动模型进行数值计算,研究了上、下坡顺序输送时的输送顺序、密度、管长
朱熹的工夫论使德性映现在主体的内在体验过程当中,因此有别于主张超验主体的心学。工夫论的这个特征可概括为敬义夹持、涵养而致知的“坤道”,在以坤道为特征的工夫过程中,
随着当前社会竞争的日益激烈,以及国外教育产业化的影响,国内的企业和个人对培训的需求日益增加,教育培训作为一个新兴的行业有着广阔的前景并成为最有价值的投资项目。但是在行
随着经济与技术的高速发展,新材料和新技术的应用使得火灾隐患更加明显,且一些高层建筑和工业厂房使得灭火难度增加,因此如何提早发现火情和及时扑救成为一个亟待解决的问题
随着稀土掺杂光纤和密集波分复用(DWDM)光纤通信技术的发展与应用,各种结构新颖的光纤激光器技术成为当前光纤与光电子技术领域的一个重要发展方向。光纤激光器具有与光纤系
行业报充分发挥既懂传播又通行业的双重优势,通过融合转型布局全媒体平台,突出引导维度,成为行业舆论传播的支点;创新融媒维度,成为行业资讯传播的力点;打造公益服务维度,成
本论文主要研究基于数字全息的三维物体重构算法。采用理论分析和实验研究相结合的办法,对基于数字全息技术的三维重构中的基本问题和多种方法进行了比较系统深入的研究,包括再
随着半导体材料的发展,白光LED在照明领域有着广泛的应用,尤其是在手机、PDA等小型便携式电子产品的背光照明系统中成为不可或缺的重要元件。由于便携式应用对白光LED亮度均
快速增长的无线通信市场的巨大需求造成了对射频集成电路的需求。由于硅基集成电路制造成本相对较低,并且便于数字和模拟部分的集成,使得硅基集成电路成为较好的选择。最近几年