微机电系统(MEMS)中微结构的动力学特性对确保微机电系统的稳定运行具有重要的意义。为此,本文以平行板静电驱动式微型执行器为研究对象,将微执行器的平行电极板简化为理想的固支微梁模型,通过对微梁模型的探究来对微执行器的动力学特性进行分析。以直流、交流电压作用下的微梁为研究对象,采用Euler-Bernoulli梁模型、Galerkin数值离散方法、在考虑主共振的情况下,使用多尺度法研究了两端固支微梁的非线性动力学特性和可能出现的跳跃、吸合现象。结果表明:直、交流电压越大,阻尼值越小,系统表现出越强的非线特性;系统对交流电荷载作用下的振动响应相对于直流电荷载更加敏感;随着曲梁拱形高度的增加,系统会依次出现软化和硬化两种不同的行为;系统在分叉点附近可能出现跳跃或者吸合现象。研究成果为合理选取物理参数和控制系统振动行为提供参考。考虑到受静电力作用的微执行器构件,平行极板上电荷浓度分布的不均匀性的作用。本文讨论了由于电荷浓度分布不均,极板产生的边缘效应对系统非线性动力学特性的影响。通过研究发现:系统是否受边缘效应的影响,与极板厚度、上极板距下极板的初始距离有关。当极板厚度与距离下极板的初始距离比值小于1时,极板的边缘效应是需要考虑的。由于边缘效应的存在,研究模型的非线性特性会增强。为了消除边缘效应带来的影响,我们研究发现:当极板厚度大约为3倍的极板间距离或者更大倍数,边缘效应对系统的非线性特性是没有影响的。此种情况下极板的边缘效应可以不做考虑。本文还对微型减振器的动力学特性进行了研究。从减震器中简化出3自由度非线性振动模型,在3自由度模型上建立控制方程,使用数值方法求解,最后得到了构件幅值的关系式。探究了在静电外激励频率接近减振构件主频率的情况下,减振器的减振工作情况并且得出结论:在减振系统中,增大主构件所受的阻尼参数,会提高减振系统的工作效率。增大阻尼器的阻尼参数,会降低系统的工作效率。同时,降低减振阻尼器的固有频率提高系统的减振效果。