【摘 要】
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扫描探针显微镜技术的迅速发展为超精密加工表面粗糙度的测量提供了更先进的测量手段,它不仅使测量精度达到了纳米乃至埃米级,而且能够得到加工表面真实的三维图像,从而完整
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扫描探针显微镜技术的迅速发展为超精密加工表面粗糙度的测量提供了更先进的测量手段,它不仅使测量精度达到了纳米乃至埃米级,而且能够得到加工表面真实的三维图像,从而完整全面地反映出样品表面的功能特性.该文通过对图象匹配算法和粗糙度理论的研究,编制了数据采集程序及图象处理和粗糙度测量软件.在图象匹配过程中采用了相关系数法,虽然它的匹配时间过长,但是匹配精度较高.图象匹配过程中,两幅图的重叠部分采用了渐入渐出的方法来对图象进行平滑连接.此外,通过数据分析了粗糙度测量中的影响因素.试验证明,该粗糙度测量软件可以实现AFM对大范围超精加工表面粗糙度的测量.
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