随着产品越来越小型化和精密化，对这些精密产品的表面光整要求也越来越高，针对待加工零件尺寸小、结构复杂等特点，本文利用三相射流小尺寸加工技术，研制了三相射流小尺寸加工设备。该技术是用高压气体，驱动含磨料的浆液，从小尺寸喷嘴喷出，形成高速三相射流，对工件表面进行光整加工的一种方法。 本文介绍了三相射流小尺寸加工新工艺。试验中利用铝合金和P20模具钢作为试验工件，加工参数主要包括气体压强、磨料粒度及其浓度、加工时间、靶距等，这些因素都可能是影响加工效果的主要因素。通过单因素试验，发现磨料浓度对其抛光效果的影响较小，而磨料粒度对其影响较大。为了更好的得出各个加工参数对抛光效果的影响作用，安排了正交试验。从中得出气体压强以及磨料粒度对加工质量影响很大。气体压强越大，去除量越大，表面粗糙度越低；磨料粒度越小，去除量越小，表面粗糙度越低，所得到的表面质量也越好。通过试验数据及现象对三相射流小尺寸加工机理进行了浅析，为了更能详细的描述其加工机理，做了加工工件的表面形貌，并通过试验得到了其数学模型，对三相射流小尺寸技术应用具有参考意义和实用价值。