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碳化硅光纤法珀高温压力传感器的设计与制备
【摘 要】
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压力传感器作为工业实践中最为常见的一种传感器,在军用和民用的众多领域起着关键的作用。传统的常温压力传感器由于受到器件材料及封装结构等诸多限制,无法完成在超高温恶劣环境中压力参数的原位测量,因此,对耐高温压力传感器的研究逐渐成为热点。压力传感器主要有压阻式,电容式和光纤式等类型,与其他种类的压力传感器相比,光纤式压力传感器具有抗电磁干扰、成本低高温环境稳定性好等优点,同时碳化硅材料具有高熔点、热稳定
【出 处】
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中北大学
【发表日期】
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2021年01期
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