论文部分内容阅读
用射频磁控溅射及离子束改性技术制备了由接近零磁致伸缩三元合金NiFeCo和非磁性金属Ag组成的多层膜与非连续多层膜,研究了注入Co离子、退火温度和多层膜结构对NiFeCo/Ag非连续多层膜的表面形貌、巨磁电阻效应(GMR)和磁性的影响;用四探针法和振动样品磁强计分别测试了非连续多层膜的巨磁电阻效应和磁性能;用X射线衍射仪分析了非连续多层膜的相结构;用俄歇能谱仪分析了非连续多层膜的成份;用扫描电镜、原子力显微镜观测了非连续多层膜的表面形貌。研究结果表明: 用RFMS-4射频