【摘 要】
:
该论文从理论和实验上研究超高速SiGeHBT,并提出和研制一种新型SiGeHBT.简述SiGe/SiHB技术的发展概况和前景,SiGe/Si应变层材料和HBT器件的基本理论,SiGe/SiHBT材料生长和器
论文部分内容阅读
该论文从理论和实验上研究超高速SiGeHBT,并提出和研制一种新型SiGeHBT.简述SiGe/SiHB技术的发展概况和前景,SiGe/Si应变层材料和HBT器件的基本理论,SiGe/SiHBT材料生长和器件研制基本技术和发展水平.在对SiGe/SiHBT纵向结构模拟分析的基础上,结合工艺条件设计出合理的器件纵向结构和横向结构.采用MBE方法进行材料生长,用双台面工艺制备了SiGe/SiHBT.研究了干湿法腐蚀工艺和低温淀积氧化层性能与工艺条件的关系及其对器件性能的影响.研究了外基区离子注入条件对器件噪声性能的影响.采用逆向制作方法在3微米的工艺线上研制出超高频器件,其主要指标为:封装后fT=15GHz,fmax=7GHz,高频噪声系数:N<,F>=2.5dB.管芯测量值:fT=25GHz.其他部分性能指标:Early电压≥500V、漏电流≤10nA、β<,RT>=100-300.用GSMBE方法生长的材料研制SiGe/SiHBT.其fT值为20GHz.在国内还未见到更好的报道.
其他文献
该课题旨在为微型磁通门进行建模与分析,研究其性能,确定其最佳结构参数.通过对国内外微型磁通门传感器的发展状况及研究成果的回顾,确定了微型磁通门传感器的模型基本结构,
相较其他普通市场而言,农贸市场具有更多的人流量与物流量,这也决定了它的产品具有一定的多样性。由此特性可以看出,农贸市场的运行与管理将会存在很多方面的问题,只有做到科
苏宁控股集团董事长张近东,在短短几天里连续飞了26个小时,从南京到米兰再回到南京,就是为了赶上今年的“苏宁之夏”晚会。这台晚会对于苏宁有特殊的意义,2000年的时候,空调
该文在充分调研了目前的各种射频滤波器的基础上,提出了基于微电子机械系统技术的采用高品质PZT压电薄膜的射频体声彼谐振器、滤波器.该射频体声波谐振器用到了电极-压电薄膜
近年来,随着计算摄像学的发展,光谱采集系统逐步被运用于地物光谱场景的采集。本文以此为出发点,根据地物光谱场景的特点,提出了光谱图像本质分解(SIID)模型——将光谱场景分
水稻是重要的粮食作物,其杂种优势利用取得了空前的成就,但农作物杂种优势的调控机制和分子机理还知之甚少。研究表明杂交水稻差异表达基因与杂种优势存在相关性。本实验室构建
该文主要在超高真空环境下研究单壁碳纳米管对气体的吸附和脱附,以及吸附、脱附对其场发射特性的影响.分别对W针尖上未组装和组装单壁碳纳米管进行热处理,然后对所得残气质谱
该论文采用等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)生长技术,原位制备了SiO/nc-Si/SiO的纳米结构.实验中我们首次采用等离子体氧化的方法,获得了作为隧穿氧化层超薄SiO层,并利用l
在这篇论文中,我们首先以无线局域网的发展历史作了说明,研究了无线局域网的特点和技术问题,分析了各种随机竞争MAC协议的性能和特点,讨论了适用于在无线局域网环境下的MAC协
本文主要研究了一系列具有不同配位环境的锰化合物与去锰PSⅡ颗粒的光组装过程;其次,应用太赫兹时域光谱技术对锰稳定蛋白PsbO蛋白的结构与功能进行了研究。主要结果如下: