在半导体的生产和制造过程中，电阻率是检测半导体材料掺杂浓度的一个重要性能指标，因此测试微区电阻率成为了加工芯片时的一道重要工序。四探针技术是测量微区电阻率的常用测量手段，它包括丰富的理论，已经在半导体生产中得到了广泛的应用。随着集成电路的快速发展，对半导体材料提出了更高的要求，不仅要求设计工具完善，还需要操作可靠、精度高的测试手段。论文以四探针法测量原理为基础，利用LabVIEW软件搭建的薄层电阻测试系统，实现对薄层电阻的测量，解决了传统测量测量速度慢、测量精度低的缺点，具有很高的应用价值。主要研究内容包括：首先，介绍了国内外薄层电阻测试技术的发展现状，对虚拟仪器和LabVIEW软件进行相应描述，总结了虚拟仪器相对于传统仪器的优势。对常规直线四探针测量法、范德堡法、改进的范德堡法、斜置式方形四探针法进行比较，分析各自优缺点。选择常规直线四探针测量原理作为测试系统的理论基础。其次，根据测试系统应该具有快速测量、准确测量等特点。对测试系统整体规划，将测试系统分别进行硬、软件设计，为了使设计更加清晰，绘制了技术路线流程图和测试系统的总体结构图。对测试系统的硬件部分进行了整体设计，测试系统的硬件由恒流源电路、模拟通道、放大电路、滤波电路、温度传感器、数据采集卡、计算机七部分组成，详细的描述了各个电路在整个系统中的作用，利用软件绘制相应的电路图。并根据实验需求选择适合系统的温度传感器和数据采集卡。LabVIEW具有很强的数据采集和信号处理能力，本文的软件部分主要使用该软件进行设计。设计出系统的数据采集模块、数据处理模块、温度矫正模块、数据存储模块、数据读取模块的程序。最后，为了验证系统的可行性，利用RTS-8型四探针测试仪与本系统做了对比实验，研究结果表明，基于LabVIEW的四探针法薄层电阻测试系统能够对薄层电阻进行测量，不仅操作灵活，还降低了成本，提高了效率。