K9光学玻璃的物理、化学性能稳定,尤其具有良好光学加工性能,因此被广泛应用于光学仪器、高档工艺品等多个领域。其表面精度直接影响到仪器的使用的性能。然而由于K9光学玻璃的硬脆特性,使得传统的加工方法极难获得高质量的光洁表面。本文为获取高表面精度的K9光学玻璃,研究了潮湿环境下的化学机械磨削(Chemical Mechanical Grinding, CMG)加工方法。本文首先研究了磨具的制作工艺,之后针对K9光学玻璃的材料特性进行了干式化学机械磨削试验。使用三维表面轮廓仪测取K9光学玻璃的表面粗糙度,通过精密电子天平称量,间接获得工件的材料去除率。然后在干式化学机械磨削的基础上采用超声雾化去离子水等液体的方法为潮湿试验创造环境,对比干式、潮湿环境下的试验结果对磨具配方进行了调整。通过向一定量的去离子水中添加不同质量的NaHC03来控制水雾的碱性,然后针对调整后的配方制成的磨具开展不同潮湿环境下的化学机械磨削试验。开展了多因素正交试验,研究雾化液的碱性、工件转速、磨具转速等因素对优选出的Ce02型CMG磨具磨削K9玻璃的磨削效果的影响规律。结果表明在磨削液为弱碱性、磨具转速为600r/min、工件转速为250r/min时取得最佳的磨削效果,得到的工件表面最小粗糙度为Ra 0.515nm,获取的最大材料去除率为95.37nm/min。磨削参数对工件表面粗糙度影响程度为：雾化液酸碱度最强,磨具转速次之,工件转速最弱；对平均材料去除率的影响程度为：雾化液酸碱度最强,工件转速次之,磨具转速最弱。潮湿环境下磨削后的K9光学玻璃的加工表面检测后无划痕等缺陷；并在潮湿环境下磨屑的成分中发现新的物质产生,验证了磨削过程中发生化学反应。最后提出了潮湿环境下CMG磨具加工K9光学玻璃过程中的材料去除模型。