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该论文主要研究了分子束外延(MBE)生长的硅掺杂n型氮化镓异质外延膜的光学、电学和光电性质,氮化镓的紫外光辅助电化学腐蚀,以及制备欧姆型的氮化镓-金属接触.六方结构的氮化镓外延膜在蓝宝石衬底的c方向上生长.该论文系统地研究了不同的极性的氮化镓薄膜的光学、电学和光电性质.并且研究了中温缓冲层(ITBL)对不同极性的氮化镓异质外延膜在光学、电学、光电等性质的影响.