利用辐射光实现超分辨经典分辨极限的成像研究

来源 :中国科学院上海光学精密机械研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:youyou306
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对微观结构体系的无尽探索使得对仪器的分辨率要求也越来越高.提高物体分辨高的方法已经做了很多的研究.其中,利用光学系统的优势实现超经典衍射分辨率极限一直是光学工作者所追求的目标.目前的光学方法可以满足对光学检测系统纵向检测分辨(亚纳米级)的要求,然而,光学系统的横向分辨率却是一直未能达到和满足现代检测(深亚微米级-小于0.5微米)的需要.该文就此对提高光学检测系统分辨率的相关技术和方法进行了初步的理论研究和实验工作.该文主要有两部分组成.第一部分主要阐述了成像系统分辨率的相关概念,基本理论,以及超高光学分辨率的相关研究.第二部分重点对超高光学分辨率中的两个途径分支--变迹术和共焦技术以及它们之间的结合进行了理论和实验研究.
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