非金属陶瓷材料基底上金刚石薄膜成核特性研究

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该论文利用热灯丝化学气相沉积设备和多种实验手段,详细研究了化学气相沉积过程中金刚石薄膜在一些非金属材料基底表面的成核过程和特点,探讨了金刚石膜的成核、生长与基底材料的物理参数如晶格结构、晶格常数之间的相互作用,以及一些基底预处理方法对金刚石成核、生长的影响.
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