硬质合金刀具离子镀TiAlN镀层结构及性能研究

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本文以YG8硬质合金刀具为基体,采用多弧真空离子镀制备以TiN为过渡层的TiAlN梯度涂层为研究对象,深入研究工艺参数对涂层性能的影响。本文实验制备TiAlN/TiN膜层时所采用的靶材为工业级纯钛靶和Ti:Al为1:1的合金靶材,镀膜参数为沉积温度50~250℃,基体负偏压50~250V,钛靶电流60A,合金靶电流50A,N2分压0.6~1.0Pa,镀制时间60min。经试验研究结果表明:工艺参数明显影响涂层的表面形貌和涂层的厚度,过高或过低的基体偏压会都会使膜层表面出现大的颗粒熔滴和凹坑,导致表面不平整,涂层的表面颗粒尺寸先随着偏压增加而增大,当超过一定值随偏压增大而变小;氮气分压对表面形貌的影响不是很明显;沉积温度的影响显著,随着沉积温度增加,涂层表面趋向于更加平整,且涂层晶粒尺寸减小,排列更加紧密。工艺参数对涂层厚度也有明显影响,随着偏压的增加和氮气分压的升高,涂层厚度均相应的减小。对于涂层,厚度太大或太小均有损涂层的性能,过大的涂层厚度会导致更大的涂层残余应力,影响涂层与基体的结合强度,过小的涂层厚度耐磨性要差。根据显微硬度和涂层结合力的正交试验,论文分析了工艺参数对涂层显微硬度和涂层结合力的影响,研究表明,在所选定的工艺参数当中,影响涂层显微硬度的主次顺序是:R负偏压>R沉积温度>R氮气分压,影响涂层膜基结合力的主次顺序是:R沉积温度>R负偏压>R氮气分压。通过对较优参数所得试件的切削试验和摩擦磨损试验可知,TiAlN涂层能明显改善刀具的切削性和耐磨性,且不同工艺条件下的涂层刀具性能相差很大。计算了TiAlN涂层的热应力,并采用X射线衍射测量了涂层的残余应力,测定显示应力均为压应力。综合各因素可以得出涂层应该是最佳工艺参数为沉积温度100℃,负偏压250V,氮气分压0.6Pa。
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