本论文主要研究了纳米TiO₂的制备工艺方法，寻求合适的载体和固定化技术，制备负载型纳米TiO₂薄膜光催化剂，以及利用等离子体对纳米TiO₂薄膜进行表面改性研究，探索提高纳米TiO₂光催化活性的新的有效途径。 采用溶胶-凝胶法在普通玻璃载波片和ITO导电玻璃上制备出负载型纳米TiO₂薄膜，并用UV-Vis，AFM，XRD等对纳米TiO₂薄膜的光谱特性、表面形貌、晶型及粒子大小、薄膜厚度等进行了表征。结果表明，在500℃热处理后，TiO₂晶型从无定性态转变为锐钛矿结构，且通过适当控制工艺条件，可在一定范围内调控TiO₂薄膜表面粒径大小和薄膜厚度。通过N₂／He感应耦合等离子体处理后其光催化活性有一定改善。通过适当条件的H₂微波等离子体处理后薄膜特性发生较大变化，其紫外—可见吸光能力明显增强，光致亲水性能和光催化活性都有较大提高。样品在自然光作用下可以获得表面超亲水性，能有效地降解有机物，具有较高的光催化活性。