本文综述了MEMS技术的内容、特点、应用和国内外发展情况。介绍了微执行器的驱动方式及各自的优缺点、静电梳齿结构的特点和应用以及静电梳齿结构的工作原理。以微谐振器中一种典型的静电梳齿驱动结构为研究对象,分析了结构所受的静电力及在静电力作用下的位移;提出了两种不同的等效模型:一种是前人提出的均质弹簧弯曲振动模型,另一种是本文提出的将结构等效成一个自由端带有集中质量块的悬臂梁弯曲振动模型。在悬臂梁弯曲振动模型的基础上,采用振动理论方法建立了无阻尼和有阻尼条件下的振动方程,推导出了固有频率方程及模态函数的解析表达式,求出了结构在无阻尼和有阻尼条件下的动态响应。应用有限元分析软件对结构进行了建模与分析,得到了结构的振动模态,并将分析结果与两种模型的理论计算结果作了比较。最后基于微型化中的尺度效应的分析理论与方法,对静电梳齿结构的尺度效应进行了研究,揭示了结构的有关物理量在尺寸微型化后的变化规律,为静电梳齿结构在微机械中的设计奠定了坚实的理论基础。