【摘 要】
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该文介绍了YG6硬质合金金刚石涂层刀具的应用前景和制备方法.采用国内首次自行研制的石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积装置,系统的研究了YG6硬质合金衬底预处理、甲烷浓度
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该文介绍了YG6硬质合金金刚石涂层刀具的应用前景和制备方法.采用国内首次自行研制的石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积装置,系统的研究了YG6硬质合金衬底预处理、甲烷浓度、沉积气压、衬底温度、沉积时间等工艺参数对金刚石薄膜与硬质合金衬底附着性能以及薄膜质量的影响.研究结果表明对衬底进行预处理、优化金刚石沉积条件能够显著的提高金刚石薄膜与硬质合金衬底的附着力.
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