随着高精尖制造业的发展,硬脆性材料在日常产品中被广泛应用,但同时对于硬脆性材料的加工也成为了加工制造方面的难题,尤其是在硬脆性材料微细孔加工方面,存在着切削困难、加工深径比难提高的问题。超声振动辅助电火花（以下简称为UEDM）对于硬脆性材料的微细孔加工具有较好的效果。本文对轴向超声振动辅助电火花加工的放电机理和间隙流场状态进行了研究。研究内容主要有以下几个方面:（1）电火花加工主要依靠电源正极和电源负极产生的电压差实现放电加工。引入超声振动后,电火花的放电间隙随着超声的振动规律发生往复变化。本文基于超声振幅与最大放电间隙的关系将超声振动辅助电火花加工微细孔的放电机理分为四种状态进行研究。（2）在有效放电能量方面,本文对四种放电状态的加工过程进行了理论分析和研究。在实验过程中加工过程的放电波形进行了检测与分析。分别对超声作用的电极端部的路径在最大放电间隙内的状态下、超过最大放电间隙状态下,超声频率和振幅对于有效放电能量的影响进行了研究。（3）在表面质量方面,本文对超声振动辅助电火花加工的表面质量进行了理论分析和数学建模,并设计了相关的实验完成了数学模型的验证。（4）超声振动辅助电火花加工过程中,超声振动对于放电间隙流场的影响发挥着重要作用。本文从动网格的角度对超声振动对于间隙流场的影响进行了分析,主要分析超声振动频率、振幅对间隙流场的压力和流速的影响。同时分析了随着加工深度的提高,超声振动对间隙流场的影响。（5）本文设计了应用于旋转电火花机床的附件装置,来完成微细电极的在线制作。根据前期的理论研究和实验验证,利用完成的微细电极进行了超声振动辅助下的微细孔的加工实验。