氧化铟锡(ITO)膜红外光学特性研究和可见-红外宽光谱分色片研制

来源 :中国科学院上海技术物理研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sheep0211
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在我国的风云系列气象等卫星上的光学遥感仪器中,通常有多达二十几个光谱通道分布在从可见到长波红外(0.3~15μm)的宽光谱范围。为了将不同的光谱分配到不同的光路和探测焦面上,需要研制(超)宽光谱分色片,要求分色片的光谱覆盖所有光谱通道,反射或透射的光学能量高,反射区和透射区之间的光谱过渡迅速。利用氧化铟锡等透明导电膜的红外反射特性,结合光学介质膜堆的配合,实现了可见和近红外区的(诱导)透射,收缩了透射区到反射区的过渡范围,0.45~1.1μm的平均透射率达到85%以上,2.0~15μ m的平均反射率达到90%,满足新一代气象卫星多光谱光学载荷对宽光谱分色的要求,比现在分色片光学效率提高接近10%。同时,在0.3~0.4的近紫外区也实现了70%以上的透射,为海洋遥感中紫外光谱和热红外光谱的同机工作提供了可能。   利用在高真空中电子束蒸发沉积的方法,在玻璃、蓝宝石等基片上镀制了氧化铟锡(ITO)透明导电膜。对不同基片、沉积温度、氧分压、沉积速率、离子束辅助轰击等条件下得到的膜层,进行了光谱、SEM、XPS、XRD和电阻率等项测试分析,找到了最佳实用工艺条件。研究表明:改变成膜条件,能够改变膜层中的自由载流子浓度,进而调整透射和红外反射光谱;膜层多由尺寸为几十纳米的ITO晶粒组成,未见层状或柱状结构;发现用氩离子辅助轰击,会引起膜层的晶格膨胀;膜层的自由载流子浓度达1021/cm3数量级,具备了透明导电膜的良好特质。
其他文献
由DNA甲基转移酶DNMT催化产生的甲基胞嘧啶是哺乳动物基因组中的第五碱基,随后发现的双加氧酶TET能够对甲基胞嘧啶继续氧化,提供了可能的去甲基化途径。由于DNA甲基化在诸如X染
使用金色分枝杆菌作为模式菌,筛选具有抗分支杆菌活性的候选化合物分子。通过对50000个小分子化合物和2582个天然产物平行筛选得到如下结果:  1.70个具有抗金色分支杆菌活性
摘要:中国公民的化学素养在近五年中总体来说有较大幅度的提高,但由于通讯同时快速发展,民众容易从微信、QQ等网络通讯应用中被动接受一些错误的科学信息,引起不必要的恐慌。所以,笔者认为,在学校教育中对高中生进行有效的化学素养培养,然后以高中生为桥梁,通过家校合作,联合学校教育、家庭反哺教育和社会教育,期望能提高目前科学素养水平最低的中老年群体、妇女群体、农村群体的化学素养水平。  关键词:科学素养;化
集成芯片系统(SOC)和芯片实验室(LOC)分别是信息科学与生物化学分析领域的前沿课题之一。MEMS技术的迅速发展以及跨学科研究的不断深入,使得二者有机会结合起来,形成将电路与多种物
学位
登革热(dengue fever DF)在全球热带及亚热带地区快速蔓延,给全球的公共卫生带来严峻的挑战,然而目前没有预防和治疗登革热感染的有效疫苗和临床药物,相关的生物医学基础研究已
计算机视觉、智能视频监控领域,视频图像的运动目标检测结果,将对运动目标分类、跟踪及行为理解等后续处理产生重要影响。对目标进行有效分割是序列图像分析的基础性工作,是当今
相变存储器(Phase Change Memory,PCRAM)是基于硫系化合物薄膜的随机存储器。它利用相变材料在晶态时的金属低阻特性和非晶态时的半导体高阻特性实现数据存储。PCRAM具有操作
汽车电子芯片对防静电放电(ESD)可靠性要求极高,通常需要通过人体模型(HBM)8 kVESD测试。芯片抗ESD能力与ESD保护电路、芯片内部电路结构、以及工艺密切相关。CAN总线收发器的
本文通过对荣华二采区10
期刊
由于表面等离子(surface plasmons,SPs)或表面等离子体激元(surfaceplasma polaritons,SPPs)在电子学和光子学上潜在的应用价值,基于SPs的亚波长光学得到了广泛的研究,并取得了许
学位