集成电路制造企业是集成电路产业链中十分重要的一环,具有高科技、高投入、高竞争的特点。集成电路制造公司质量管理体系的建立和完善,关系到芯片生产质量、工艺过程稳定性以及企业综合竞争力,而不合格晶圆的规避和有效管理能直接反映公司的质量管理水平,因此,如何不断改进不合格晶圆的质量管理体系,成为业内讨论和关注的重点。新成立的华力微电子有限公司(以下简称华力)作为业界领先的集成电路制造企业,根据质量管理的方针和工艺特点,并借鉴其他业界先进制造工厂的经验,成功构架出一套自动化工艺和芯片质量相结合的不合格晶圆质量管理机制。质量管理是不断完善的过程,相比成熟的集成电路工厂,华力不合格晶圆发生率较高,同时对不合格晶圆的管理范围以及处理还存在疏漏点,如:不合格晶圆的原因查找时效性不高(30%的事件未及时处理)、原因分析不准确等等。本文基于此状况,首先对华力不合格晶圆的质量管理体系与业界典型企业进行了调研对比分析,发现主要有两点不同:1.华力不合格晶圆的管理范围相对较小,单一事件管理不够严格;2.不同的集成电路制造企业对分析和处理不合格晶圆的侧重点不同。其次,本文对上述不合格晶圆的管理上存在的薄弱环节进行了原因重点分析:8D(8Disciplines团队导向问题解决方法)理念缺乏、发生原因分析不准确以及不透彻、预防措施制定及实施力度不够。之后,按照华力不合格晶圆的管理存在的问题和原因,提出了改进思路以及方法,包括如何推进8D审核过程、提高工程师8D分析的方法和理念、宏观措施改善质量体系。最后,本文详细说明了常规不合格晶圆的管理体系以及成立专门的特别小组共同完善不合格晶圆的管理而采取的方案和改进措施:包括提高审核不合格晶圆的效率(不合格晶圆的原因分析、防止再发生等)、8D的理念和报告撰写能力的提升、不合格晶圆预防措施的有效性确认、从系统层面更宏观地提出减少不合格晶圆发生率的宏观措施——零质量事故特别小组项目,如错误操作的减少、工艺控制(步骤、窗口、量测等)、防止不合格晶圆产生的防御系统。通过上述的分析与改进措施执行,华力不合格晶圆的改善效果明显:不合格晶圆的发生率逐渐降低(同期较大规模不合格晶圆案例降低约48%、晶圆报废数量控制在0.5%以内)、高效并正确地锁定真因(单一事件比例控制在30%)、不合格晶圆侦测度的提高(100%不合格晶圆提前侦测)以及客户满意度的持续提升。