硅基自旋电子学发展中遇到的一个瓶颈就是缺乏可以实际应用的硅基半导体磁性材料。ε-FeSi是一种立方结构窄带隙半导体，单晶ε-FeSi体材通常被认为是一种顺磁材料。不同于体材，ε-FeSi薄膜以及ε-FeSi纳米线呈现出了铁磁性质。本论文以金字塔形ε-FeSi颗粒的生长和磁学性质作为研究对象，对生长机制和磁性的起源进行了一系列微结构和谱学的研究。取得的结果如下:　　使用化学气相沉积法制备了拥有{111）侧面和(001)底面的金字塔形单晶ε-FeSi颗粒，颗粒的尺寸为250 nm-1μm。FeCl3蒸气最初与硅衬底反应生成了尺寸取向不一的ε-FeSi纳米晶粒。由于立方结构的特点，纳米晶粒会自发的聚集为矩形ε-FeSi或正方形平台。除了在水平方向的生长，在垂直方向的ε-FeSi纳米晶粒的各向异性堆积最终生成了这种特殊的形貌。我们在所制得的样品上检测到了室温铁磁性质，并且确定了其起源于金字塔形颗粒的{111}面。　　我们所制得的金字塔形单晶ε-FeSi颗粒将会在自旋电子器件中有广泛的用途。此外，形貌对于磁性的调节作用将会作为一种新的手段引起研究人员的广泛关注。