现代卫星通信对窄带声表滤波器有很高要求,在带宽、插入损耗、阻带抑制以及温度稳定性方面都有明确要求。常规设计的窄带声表面波滤波器已经无法满足使用要求,需要在设计方法和关键工艺上进行技术研究,形成稳定的设计、工艺和测试平台,才能研制出满足整机需求的极窄带声表滤波器。该论文主要研究内容包括双通道耦合谐振结构高精度声学仿真设计技术和双通道耦合谐振结构高阶波动模式抑制及温度稳定性技术。双通道耦合滤波器结构采用二维声波导结构,利用两个声通道之间的耦合,激发多种波导模式,包括低阶模式和若干高阶模式,通常需要利用最低频的两个低阶模式,通过结构设计抑制其他寄生模式,最终得到极窄的通带。通过COM(Coupling of modes)模型实现二次模式和三次模式的导纳计算,采用周期FEM/BEM理论提取耦合模(COM)参量,通过等效电路模型实现滤波器的声学部分仿真,再利用声电协同全波仿真对电气互联硅铝丝和封装HTCC陶瓷外壳等完成全要素精确仿真。对于双通道耦合谐振滤波器,在输入叉指换能器上激发的声表面波,不但在自身谐振腔中沿着声表面波振动方向传播,而且还会耦合到另一个通道谐振腔,沿着声表面波振动方向传播,再通过输出叉指换能器实现声-电转换。通道耦合的强度与与波长的相对膜厚、中间耦合汇流电极宽度、反射栅与换能器电极宽度比、通道孔径等因素密切相关。需要着重研究这几个参数对双通道耦合谐振滤波器主要性能参数的影响。由于双通道耦合谐振滤波器带宽极窄,仅有0.1%,所以必须选用温度稳定性好的压电材料作为衬底。重点研究了石英晶体的切型和各种结构参数与温漂系数拐点的关系,使拐点在25℃附近。采用双通道耦合谐振滤波器结构,通过建模仿真和高阶波动模式抑制,进行了反复的优化设计,最终确立了滤波器换能器结构形成了版图,利用声表平面半导体工艺进行了加工制作,生产了160MHz极窄带声表面波滤波器,在-55℃至85℃温度范围内,160MHz频点始终位于通带内。