F300和SF系统是美国某大型半导体设备供应商所研发的MES系统，它们为半导体制造自动化生产管理提供了一整套解决方案。在现今大型半导体工厂流水线上，数据的实时采集变得尤为重要，本文在对MES系统的结构和功能分析的基础上，提供了一种实时的数据采集模块的实现方案。MES系统必须提供实时收集生产过程中数据的功能，并做出相应的分析和处理后，将需要的数据存入数据库。WCF是由微软发展的一组数据通信的应用程序开发接口，它是.NET框架的一部分，使用面向服务架构。由于实际的工厂流水线上，为了协调不同模块不同设备之间的通信，SF系统采用了WCF框架。本文首先着重阐述了数据采集模块在MES系统中的重要地位，并通过对实际项目的分析以及对WCF框架的研究，将数据采集模块又分为数据采集功能模块、数据处理功能模块以及数据显示功能模块，其中数据采集功能模块位于WCF框架的Service端，负责监控流水线并提供实时的数据采集和存储功能，数据处理及显示功能模块位于Client端，采用MVP设计模式，实现从数据库中抓取及处理数据，并以一种友好的形式呈现给用户。