近些年来,越来越多的传感器和执行机构应用到发动机控制系统中,主要原因是由于现代发动机电子控制是基于大量数据的采集,另外汽车安全以及舒适性要求的提高亦需要增加传感器和执行机构。传感器故障诊断技术的研究成为当前汽车领域研究的热点之一。进气歧管绝对压力传感器的功能是通过检测进气歧管或稳压箱内空气压力来反映发动机的负荷状况,并将发动机负荷状况转变为电信号输入发动机电子控制单元(ECU)。本文首先介绍了汽车传感器技术的发展状况以及国内外研究现状,比较了常见的汽车发动机进气歧管压力传感器的性能,介绍了进气歧管压力传感器的工作原理。并在前期的研究工作中,采用理论、数值模拟、实验等方法系统的研究了微机电系统MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)和光电子器件气密封装工艺中的关键技术问题。对MEMS封装工艺,对键合引线等工艺过程进行了讨论,提出了确保封装工艺稳定性和可靠性的技术要点。本文还详细介绍了传感器的开发板的硬件电路及传感器模块硬件电路。我们在自行设计的进气歧管压力传感器标定实验台上,对商品化的压力传感器进行了标定,并为建立进气歧管压力传感器的数学模型积累了大量实验数据。在本文的最后,介绍了压力传感器的性能测试环境试验台,使用美国Unigraphics Solutions(简称UGS)公司的UG画图软件设计出铝压力腔的壳体。通过测试曲线结果显示,传感器所有指标均满足设计要求,其精确度很高,达到预期效果。最后进行了全文总结,提出了下一步工作的建议。