基于电光效应的MEMS微结构动态测试研究

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【摘要】

：

MEMS(微机电系统)三维动态性能测量,用来表征MEMS器件在高速运动状态下的稳定性和可靠性,在MEMS产品研发过程中举足轻重。随着时代的发展,MEMS微结构动态机械性能的测量日益重要。传统的MEMS微结构测量方法,例如原子力显微镜和电子扫描显微镜等都无法测量MEMS微结构动态机械性能。所以,本论文对频闪显微视觉和频闪显微干涉做了详细研究,设计出一种基于电光效应MEMS微结构三维动态测量系统,对M

【作者】

：

刘颖

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2016年11期

【关键词】

：

MEMS测量相位去包裹频闪显微视觉频闪显微干涉

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