探寻熔石英之外的高功率激光光学元件是重要光学材料发展方向。氟磷酸盐玻璃具有色散低、非线性折射率低、受激发截面积高、激光损伤阈值高等特点，可能成为新一代紫外透射光学元件，代替传统熔石英，因此为氟磷酸盐玻璃研制减反射膜是必然要求。氟化镁(MgF2)做为减反射膜材料有许多优点:折射率低、机械性能和稳定性高、在110-8500nm宽波段范围内透明、能量带隙宽，可用于不同领域的光学仪器减反射薄膜。本论文采用溶胶-凝胶法，以新鲜镁条和氢氟酸为原料，在惰性气氛下，常温常压两步合成MgF2溶胶。采用提拉法制备用于氟磷酸盐玻璃的氟化镁减反射薄膜。对溶胶和薄膜制备开展如下研究:　　考察反应物浓度、胶体老化温度、老化时间、不同添加剂、聚乙烯吡咯烷酮(PVP)掺入量对MgF2溶胶的影响。分析结果显示，所制备的MgF2溶胶中颗粒大小在10nm左右，具有一定程度的交联团聚，而且在常温老化7天后变为透明稳定的溶胶;不同添加剂对溶胶稳定性影响很大，只有PVP的加入不会使得溶胶发生沉淀，而且随着PVP加入量的增大，溶胶黏度随之增加。　　采用所制备的溶胶在洁净氟磷酸盐玻璃上进行提拉镀膜。随着溶胶浓度的增加，薄膜透射率先增加，后降低，而表面粗糙度随之增大;溶胶老化温度越高，薄膜透射率越高，表面粗糙度越低;薄膜透射率随溶胶老化时间的延长而增加，而薄膜表面形貌越来越差。所制备的薄膜激光损伤阈值高于目前报道的数据。对薄膜进行热处理，发现薄膜的透射率均有不同程度下降。　　采用MgF2溶胶与酸性SiO2溶胶混合，混合后溶胶并没有生成新的物质，只是简单的物理混合。采用混合溶胶制备MgF2/SiO2复合减反射薄膜，不同的Mg/Si比例混合溶胶，不同条件MgF2溶胶混合溶胶所得复合薄膜的光学性质和表面形貌均比单独MgF2薄膜差。　　本文采用甲醇镁-氢氟酸路线，在常温常压和惰性气氛保护下成功得到氟化镁溶胶。采用提拉法在氟磷酸盐玻璃基底上成功制得MgF2紫外减反膜。并得到60℃老化7d溶胶所制备薄膜紫外透射率、表面形貌、激光损伤阈值等综合性能最佳。这种基底和薄膜组合可能成为新的高功率激光器用紫外透射元件。