灰度掩膜图的设计系统研究

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灰度掩膜技术是制作三维微纳结构的有效方法之一,灰度掩膜图设计是灰度掩膜技术重要组成部分。目前,在微机械及光学器件制作领域中,通常只给出常用规则形状三维结构(如形状为圆形、矩形的凹形和凸形透镜、形状为矩形的楔形微结构)对应的灰度掩膜图的设计方法,对于任意形状图形的灰度掩膜图设计鲜有报道。本文针对任意形状图形的灰度掩膜图设计算法及算法的程序实现这两方面展开研究,构建了灰度掩膜图的设计系统。本文采用编码原理中的脉冲宽度调制法来生成灰度单元,根据有限元法中的铺路算法来生成铺路单元,综合这两种方法提出
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