【摘 要】
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液体压力是液压管路中最为重要的参数之一,其对液压管路的平稳运行和状态评估起着至关重要的作用。随着液压管路朝着高液压、小体积、低重量方面发展,需要性能更加优越的传感器以满足未来液压管路精确且稳定的压力测量需求。本文根据液压管路压力测量需求,研制出一种小型化金属圆筒-石英管复合结构的光纤压力传感器。复合结构中石英管沿轴向固定于金属圆筒内部,一端固定另一端与金属圆筒内端面相接触。金属圆筒在外界压力作用下
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液体压力是液压管路中最为重要的参数之一,其对液压管路的平稳运行和状态评估起着至关重要的作用。随着液压管路朝着高液压、小体积、低重量方面发展,需要性能更加优越的传感器以满足未来液压管路精确且稳定的压力测量需求。本文根据液压管路压力测量需求,研制出一种小型化金属圆筒-石英管复合结构的光纤压力传感器。复合结构中石英管沿轴向固定于金属圆筒内部,一端固定另一端与金属圆筒内端面相接触。金属圆筒在外界压力作用下产生轴向变形,挤压与之相接触的石英管。石英管有两种封装方式,一种是将光纤光栅(FBG)固结于石英管内孔中,光纤光栅感知石英管的轴向应变,另一种是将两段光纤固定在石英管内孔中形成光纤法珀(F-P)腔,光纤法珀腔感知石英管的轴向变形。该复合结构可以提高石英管的压力灵敏度,提升传感器的寿命和稳定性。本论文的主要研究内容如下:(1)对光纤光栅压力传感器和光纤法珀压力传感器的压力测量原理进行研究。分析各种类型光纤压力传感器的结构特点以及该结构下的压力转换原理,使用双FBG和FP-FBG串联的方式解决传感器压力温度耦合问题,达到温度补偿的目的。(2)提出基于光纤传感的金属圆筒-石英管复合测压结构、光纤光栅石英管封装方式以及光纤法珀石英管封装方式。对复合结构进行理论分析,得到传感器的压力灵敏度。利用有限元分析软件对复合结构进行仿真分析,得到其应变分布规律,验证理论模型的准确性,并分析误差产生来源。(3)对两种封装石英管进行压力加载实验,得到不同封装石英管的压力灵敏度,验证两种封装石英管测量轴向压力的可行性。对两种封装光纤压力传感器进行压力与温度标定实验,在0-35MPa压力范围内,光纤光栅封装传感器压力灵敏度为6.6pm/MPa,温度灵敏度为24.1pm/℃。光纤法珀封装传感器压力灵敏度为0.19μm/MPa,温度灵敏度为0.31μm/℃。将光纤光栅封装的光纤压力传感器实际应用于液压管路中,液压管路中的压力温度同时变化,经过温度补偿后,光纤光栅封装压力传感器与压力变送器测量的压力数据保持一致,能够在实际液压管路中实现高精度的压力测量。
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