玻璃材料在目前和今后的创新应用中被广泛需求。然而,加工符合结构和表面要求的玻璃却面临诸多困难。硬脆本性使它们很难用传统方法来实现精密加工,即不产生破碎和明显的亚表层影响。因此,高昂的材料加工成本限制了它们的广泛应用。在本研究中,提出了利用混合加工工艺(超声振动辅助磨削)来解决目前玻璃加工难题的方法。为了评价这种混合磨削工艺,必须将它与目前常用的传统磨削工艺进行对比。超声振动辅助磨削将超声振动与材料去除机理结合起来,通过在本加工工艺中施加一个轴向超声振动,可以降低磨削温度并减少砂轮磨损,同时获得传统磨削无法达到的高表面质量。在本研究中检验了该假设。本研究旨在介绍超声振动辅助磨削低膨胀光学玻璃的新知识。低膨胀玻璃主要应用于航天领域,例如哈勃望远镜的光学玻璃镜片,这主要是由于它优良的材料性能,本文中将会对其进一步分析。这种玻璃也在半导体工业上有着广泛的应用。近些年来,多种加工工艺被用于玻璃加工,然而,绝大多数非常耗时,例如抛光。该方法可以实现所需的无内部损伤的表面,然而耗时长的因素使得加工成本高昂,因此无法满足快速精密加工的需求。本文简要综述了本领域目前的研究现状。使用DEFORMTM软件尝试仿真了整个实验,建立了已有的模型,但由于时间关系未能得到仿真结果。通过磨削实验来对比传统磨削工艺和超声振动辅助磨削工艺。采用了安装在平面磨床上的高速空气电主轴(磨轴)来进行这两项工艺实验。当进行超声振动辅助磨削实验时,利用磨轴内的压电式换能器来输出所需的振动。对于两项工艺实验,都分析了表面粗糙度、亚表层损伤、磨削力信号、声发射信号和砂轮磨损。讨论并给出了研究结论:相对于传统超精密磨削工艺而言,超声振动辅助磨削工艺获得了更好的表面精度、更低的亚表层损伤并降低了45%的磨削力,这是由于超声振动磨削时砂轮与工件的周期性分离。声发射信号分析表明它与材料去除率存在正比例关系,而超声振动辅助磨削工艺得到了更高的材料去除率。