大口径带孔硫系玻璃球面透镜制造技术研究

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硫系玻璃因其优良的光学特性、低成本及环保特性,近年来受到了红外光学系统的青睐,但是硫系玻璃的热力学性能却给零件加工带来了很大的难度,尤其是大口径的光学零件,更容易出现零件炸裂、面形不易控制等问题。为了使大口径硫系玻璃透镜能够更好地应用在红外光学系统,提高其精密制造的工艺成熟度,进行大口径硫系玻璃透镜制造技术的研究意义重大。本文研究了带孔大口径硫系玻璃球面透镜的制造技术,完成的主要工作如下:  1)研究了带孔球面透镜的加工工艺。分析了硫系玻璃的材料特性,确定了带孔球面透镜加工的难点,主要包括口径大、精度高、外形结构异常等。提出了古典的磨抛和现代超精密数控加工融合的技术方案,设计了加工工艺路线。  2)研究了平摆式抛光工艺因素。通过数学建模,对平摆式抛光的运动轨迹进行了仿真分析,确定了最优的运动轨迹和工艺参数。分析了研磨抛光过程中工装、环境和模层表面结构对光学表面面形的影响,优化了工装和模层参数。  3)研究了透镜中心偏差和中心孔控制方法。分析了透镜中心偏差的等厚法和定心磨边法两种控制方法,结合这两种方法确保了高精度的中心偏差指标。介绍了预制孔加工原理,确定了中心孔加工途径,对钻孔加工的工装进行了优化设计,提出了钻孔的防护措施和钻孔缺陷控制方法。  进行了硫系玻璃透镜的光学表面创成试验和钻孔试验,几组加工试验验证了表面创成和钻孔工艺方法的可行性和工艺参数的适用性。试验结果显示,抛光后表面面形PV达到0.27λ,rms达到0.034λ;钻孔后面形PV达到0.829λ,rms达到0.118λ。中心孔与透镜外圆同轴度优于0.01mm,内径尺寸公差带0.02mm。在指定的工艺方法及参数指导下完成了多个试验样件的加工,70%的样件关键技术参数实测结果符合设计参数要求。
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