【摘 要】
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永磁同步平面电动机直接利用电磁能产生平面运动,具有出力密度高、低热耗、高精度的特点,相对于传统的二维平面定位装置具有反应快、灵敏度高、随动性好和结构简单等优点,在现代半导体微细加工装备和其它超精密二维平面定位装置中有广阔的应用前景。本文提出一种复合电流驱动的九相永磁同步平面电动机,并进行以下几个方面的研究。首先,建立永磁同步平面电机的数学模型,利用标量磁位和边界条件对平面电动机永磁阵列产生的磁场进
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永磁同步平面电动机直接利用电磁能产生平面运动,具有出力密度高、低热耗、高精度的特点,相对于传统的二维平面定位装置具有反应快、灵敏度高、随动性好和结构简单等优点,在现代半导体微细加工装备和其它超精密二维平面定位装置中有广阔的应用前景。本文提出一种复合电流驱动的九相永磁同步平面电动机,并进行以下几个方面的研究。首先,建立永磁同步平面电机的数学模型,利用标量磁位和边界条件对平面电动机永磁阵列产生的磁场进行解析,通过等效和简化获得气隙中磁感应强度的表达式,进而依据洛伦兹力法和法拉第电磁感应定律推
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