高精度光栅测量系统的误差修正理论与技术的研究

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该论文结合机械部基金项目"高精度大位移光栅测量系统的研究",以常用的透射式光栅传感器为研究对象,对其误差因素进行了详细的理论分析,提出了一些新的光栅测量系统的误差修正的理论和方法,并对它们进行了计算机仿真和实验验证.
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