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激光惯性约束聚变采用多束高能激光打靶,被认为是解决能源危机最有前景的方案之一,成为国际上研究的热点。该光学系统中有很多大口径光学元件,这些光学元件自身质量至关重要,不仅会影响打靶精度,缺陷的存在甚至会损坏整套光学系统。位相缺陷是光学元件上普遍存在的一种缺陷,该类缺陷不改变通过光的幅值,但会进行位相调制,对光有一定的会聚作用,在大功率光学系统中会造成光学元件的损伤,传统光学检测系统无法有效地检测该类缺陷。为此,国内外学者进行了大量研究,提出多种测量方法,如空间滤波法、数字全息法和移相干涉法,其中移相干